1. 产品概述
晶圆校准器(Pre-Aligner)是一款专为半导体制作及检测设备设计的高精度预约位装置,合用于 4-12英寸(100~300mm)晶圆 的中心校准及平边(Flat)/缺口(Notch)定位,满足晶圆传送与搬运的高精度需要。
2. 重要特点
? 高精度预校准:::支持晶圆中心、、、Notch/Flat及Mark标志的高精度定位
? 宽泛兼容性:::适配SEMI尺度晶圆,可选配通明晶圆检测(中心无镂空)
? 非接触式定位:::削减晶圆理论损感冒险
? 多模式检测:::支持 传感器/视觉CCD/夹持 三种检测方式
? 读码职能:::
3. 重要规格指标

4. 设备配置
- 主题传感器:::Laser sensor(高精度激光检测)
- 驱动系统:::内置模浚?榛浇缁、、、驱动及脉冲产生器
- 通讯接口:::USB串口(支持急剧数据交互)
- 模浚?榛杓:::便于守护与升级
5. 合用场景
- 半导体制作设备:::晶圆传送前的预校准
- 检测设备:::晶圆地位精确定位,确保检测正确性
- 自动化产线:::集成于机械臂或传送系统,提升搬运效能
本设备选取 模浚?榛杓,可凭据客户需要定制检测规划,确保在半导体制作流程中提供不变、、、高效的晶圆预约位服务。